Basit öğe kaydını göster

ANISOTROPIC ETCHING OF SILICON WITH ULTRASONIC EFFECT

dc.contributor.authorKUNTMAN, AYTEN
dc.date.accessioned2021-03-06T20:39:23Z
dc.date.available2021-03-06T20:39:23Z
dc.date.issued1992
dc.identifier.citationKUNTMAN A., "ANISOTROPIC ETCHING OF SILICON WITH ULTRASONIC EFFECT", JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE LETTERS, cilt.11, ss.1274-1275, 1992
dc.identifier.issn0261-8028
dc.identifier.othervv_1032021
dc.identifier.otherav_fb2ea7c7-92f1-4c58-8133-06329d3fa94b
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/20.500.12627/164445
dc.identifier.urihttps://doi.org/10.1007/bf00742176
dc.language.isoeng
dc.subjectMühendislik, Bilişim ve Teknoloji (ENG)
dc.subjectMALZEME BİLİMİ, MULTIDISCIPLINARY
dc.subjectMalzeme Bilimi
dc.subjectMühendislik ve Teknoloji
dc.titleANISOTROPIC ETCHING OF SILICON WITH ULTRASONIC EFFECT
dc.typeMakale
dc.relation.journalJOURNAL OF MATERIALS SCIENCE LETTERS
dc.contributor.departmentİstanbul Üniversitesi , ,
dc.identifier.volume11
dc.identifier.issue19
dc.identifier.startpage1274
dc.identifier.endpage1275
dc.contributor.firstauthorID315157


Bu öğenin dosyaları:

DosyalarBoyutBiçimGöster

Bu öğe ile ilişkili dosya yok.

Bu öğe aşağıdaki koleksiyon(lar)da görünmektedir.

Basit öğe kaydını göster